|
 |
| Растровый
электронный микроскоп МикроСкан МС-20 |
 БЛОК-СХЕМА
MC-20 |
 G
- управление ускоряющим напряжением
FIL - управление
накалом
С1 - 1-й конденсор
С2 - 2-й конденсор
С3 - 3-й конденсор
F - фокусирющая линза
S - отклоняющая система
PM - фотоумножитель
SG - геренатор разверток
LS - модуль управления линзами
HVS - модуль управления ускоряющим
напряжением
COM - последовательный интерфейс
LPT - параллельный интерфейс
PC - персональный
компьютер
VP - видеопроцессор
VSU - модуль управления
вакуумной системой
DP - диффузионный
насос
FP - форвакуумный
насос
|
|
наверх |
| |
| |
| |
|
