Формирующая линза оптимизирована для работы при больших значениях рабочего отрезка и имеет коэффициент сферической аберрации Ссф = 62 мм при рабочем отрезке 15 мм. Отклоняющая система имеет суммарную ошибку отклонения около 3 мкм на поле сканирования 3,2 х 3,2 мм. При этом астигматизм на краю поля составляет около 0,1 мкм. Конденсорные линзы конструктивно объединены в единый блок, что позволило существенно уменьшить количество вакуумных уплотнений и добиться существенного повышения соосности конденсорных диафрагм. Также упростилась и эксплуатация прибора, поскольку профилактические работы сводятся к чистке лучепровода и не требуют разборки колонны.

Объективная линза системы работает в телескопическом режиме вместе с расположенной над ней апертурной линзой и диафрагмой. Правильный выбор положения диафрагмы позволяет в заданном диапазоне токов и ускоряющих напряжений получать электронный пучок, диаметр которого близок к минимальному (200 А).

В системе бланкирования использован электростатический способ отклонения электронного пучка. Вследствие наличии большого количества конденсорных линз и разнообразия режимов работы применяется специальная диафрагма и вспомогательная линза. Такой способ прерывания позволяет стабилизировать работу бланкирующей системы и избежать ошибок при выборе напряжения на отклоняющих пластинах.