div  FAQ  div    div    div    div    div    div   
Microscopist.ru arrow Фотогалерея arrow СИП

СИП
.  1, 2, 3  .
     
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 06 2010 06:15     :

Ага, от Цейса.
:

на неоднородностях структуры

А, попробуйте монокристаллический кремний потравить, где дефектов мало, картина будет аналогичная. Вопрос не в материале, а в статистичекой природе взаимодействия излучения с веществом...

Впрочем, для большинства топик не актуален, как купят прибор Wink, так столкнутся с нюансами и умолчаниями производителя.
vklsi2
Бывалый

: 302
: 18.02.2009
: 06 2010 06:52     :

Так дефекты в монокремнии создаются этим же самым ионным пучком. Поэтому так актуальны низкие энергии у ФИБов (при достаточном для травления токе пучка, конечно). Ситуация в какой-то степени тупиковая, если говорить о травлении дна. Рельеф дна создается пучком, и переходом на низкие энергии его не убрать. Поэтому надо работать с вертикальными стенками, их можно пошлифовать на малых энергиях. А есть еще машинки, которые могут на аргоне до 200 эВ работать, они прекрасно убирают дефекты, и монокремний для них - рекламный объект.
Dan758
Дед

: 1276
: 28.01.2004
: Челябинск
: 06 2010 07:26     :

vklsi2 ():

А чего тут комментировать? Вопросы есть?

Ну, в принципе, есть...
Судя по масштабным маркерам, представленные Вами и injener`ом картинки отличаются, в первую очередь, увеличением.
Также, резануло по глазам Ваше
vklsi2 ():
Технику надо применять нормальную, тогда все получится
. Что есть "нормальная техника"?
Ведь недаром
pust2 ():

как купят прибор Wink, так столкнутся с нюансами и умолчаниями производителя.
/ Вот и хочется, ДО покупки узнать как можно больше....
_________________
Цапу надо было крутить! Цапу! (c)
"Я не профессионал, я широко и раскованно мыслящий дилетант" (c)
    e-mail ICQ Number
vklsi2
Бывалый

: 302
: 18.02.2009
: 06 2010 09:10     :

:

Судя по масштабным маркерам, представленные Вами и injener`ом картинки отличаются, в первую очередь, увеличением.

И в чем вопрос?

:

Что есть "нормальная техника"?

Если Вы первым заметили мою аллергию, могли бы и сами догадаться.

:

Вот и хочется, ДО покупки узнать как можно больше....

Вот и узнавайте про т.н. нюансы и умолчания, спрашивая у конкурентов, это же обычная практика. А на форуме вряд ли кто-то cможет сравнить приборы. Если только Dusha?
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 06 2010 12:15     :

vklsi2 ():
Поэтому надо работать с вертикальными стенками, их можно пошлифовать на малых энергиях.
Собственно, именно вертикальная стенка нас интересовала. А прибор не Цейсовый - это Quanta 3D от FEI. Там написано внизу...


5-_001.jpg
 :
Трековая мембрана, заполненная медью.
  :  31.79 KB
 :  729 ()

5-_001.jpg


    e-mail
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 06 2010 12:18     :

pust2 ():
Как вам такая задача - точно по центру оптоволокна ...
А получилось? А карточки посмотреть можно? Shocked
    e-mail
vklsi2
Бывалый

: 302
: 18.02.2009
: 06 2010 12:31     :

injener, обе области 1 и 2 есть вертикальная стенка? И из чего они состоят? И где дно?

Про FEI я видел на Вашей картинке, а отвечал про Цейс to pust2.



t_5-_001_851 mod.JPG
 :
  :  21.5 KB
 :  739 ()

t_5-_001_851 mod.JPG


injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 06 2010 14:58     :

Да, это всё - вертикальная стенка. 1 - это слой меди, который вышел через мембрану на поверхность, а 2 - это полимерная мембрана, каналы которой заполнены медью. Дна, естественно, не видно. И оно нас не интересовало в данном случае... Wink
    e-mail
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 06 2010 23:52     :

Простите ребята, где-то мы это уже все обсуждали....
И сказал я тогда Helper'у, который некстати под руку подвернулся, и скажу теперь и вам - настраивать прибор надо, и все у вас получится. Режимы подбирать....
И NVision от Цайсса и Helios от ФЕИ - роскошные машины, можно и стенки там делать ровными и 20 нм дырки резать без прицелки.
И не пулемет это, а очень точный скальпель. Нет, ну гвозди им тоже можно забивать, микроскоп все-таки Laughing Laughing
Ровные стенки см. в вышеупонянутой дискуссии с Хелпером, а вот маленькие структуры без прицелки и настройки см. ниже - прямо с пылу с жару - только что сегодня подписал приемку на свою машинку, пробовал, что можно, что нельзя.
Мостик - как раз 20-30нм, как и хотелось выше.
Более того, в процессе тестов инженер показал, как можно вслепую попасть ионным пучком в нужное место с точностью порядка 30нм. По фотографии Very Happy Электронной...



Gold stripe.jpg
 :
  :  76.48 KB
 :  739 ()

Gold stripe.jpg



_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 07 2010 00:04     :

pust2 ():
, запыленного 10-20 нм золотом или платиной, срезать напыление в области диаметром 20-30 нм.


СНОМчиком балуетесь? Very Happy

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 07 2010 10:51     :

Dusha ():
вслепую попасть ионным пучком в нужное место с точностью порядка 30нм. По фотографии
Вот-вот! Это как раз то, что нужно... А не помнишь, в каком топике об этом речь была?
    e-mail
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 07 2010 11:03     :

Вот... Сам нашёл: http://www.microscopist.ru/forum/viewtopic.php?t=338
    e-mail
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 12 2010 10:05     :

2 DUSHA
:

вслепую попасть ионным пучком в нужное место с точностью порядка 30нм


Можно картинку двух квадратов (прорезать периметр) один в другом. Максимальный размер 200*200 нм, первый током 20пА второй 200пА? Образец - кремний запыленный золотом не толще 100 нм. В области интереса золото не должно спылиться до кремния, только периметр прорезать.

А, вот собственно дырка в оптоволокне (золоте), 30нм с ровными краями не получилось, а вот 100 нм...



OF-2_17.jpg
 :
  :  31.61 KB
 :  767 ()

OF-2_17.jpg


Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 13 2010 20:46     :

:
Можно картинку двух квадратов (прорезать периметр) один в другом. Максимальный размер 200*200 нм, первый током 20пА второй 200пА? Образец - кремний запыленный золотом не толще 100 нм. В области интереса золото не должно спылиться до кремния, только периметр прорезать.

Можно тогда вначале демонстрацию, как щи хлебать лопатой?

200пА - в кремнии ямы рыть с более менее вертикальными стенками, для тонкой работы слишком большое пятно и слишком сильные хвосты.
Интересно, зачем такими токами снимать золото?
Если хочешь тонкий периметр - работай с 1пА.
Как будет золотой образец - попробую.

Если речь идет о том, что между токами - существенное смещение - во первых это подстраивается, во вторых тонкие структуры можно (и нужно) резать одним током. Зачем искать себе дополнительные проблемы?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 14 2010 01:08     :

:

Можно тогда вначале демонстрацию

Так, я то и хочу, чтобы кто-то продемонстрировал мне такую технику Smile

Вопрос не про стенки или еще что-то, а про тестовую задачку. Как получится так и получится, но даст представление...

Разные токи для разных площадей травления. Нужен объект (точки) с максимальным разрешением и качеством примерная площадь облучения 100 мкм.кв., а потом нужно рядом другие объекты (контакты) с площадью облучения 10000 мкм.кв. если все делать одним током - маленьким - на двое суток, большой ток не дает сделать маленькие объекты. Область интереса тонкая пленка (20-30 нм) на поверхности, слава богу не золотая, но облучать ее не желательно вообще, кроме как резать объекты... Поэтому и идет речь про резку с РЭМ картинки.

Опять же повторюсь, мы пытаемся подковать блоху топором, точнее пулеметом, но никак не скальпелем (хотя у скальпеля лезвие во много раз толще пучка)...
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 14 2010 20:05     :

:
Разные токи для разных площадей травления. Нужен объект (точки) с максимальным разрешением и качеством примерная площадь облучения 100 мкм.кв., а потом нужно рядом другие объекты (контакты) с площадью облучения 10000 мкм.кв. если все делать одним током - маленьким - на двое суток, большой ток не дает сделать маленькие объекты. Область интереса тонкая пленка (20-30 нм) на поверхности, слава богу не золотая, но облучать ее не желательно вообще, кроме как резать объекты... Поэтому и идет речь про резку с РЭМ картинки.


В области больших объектов большим током делаешь метку (крест) для коррекции. При смене тока корректируешь взаимное смещение по этим меткам. Помогает даже при перемещении столика. Область, где режешь маленьким током, вообще ни разу не изображается ионами. Ширина поля зрения ионной колонны порядка 100мкм, что для большинства задач достаточно. Точность коррекции порядка 20нм.
На картинках - структурка, сделанная таким способом, время на структуру порядка 7 мин. "Внешний" ток 100пА, "внутренний" ток 10пА.
Видна рамка, где объекты накладывались за счет конечного диаметра пятна; по-моему, соответствие приличное.

В случае "только РЭМ" - настраиваешь "слева" eucentric height и сводишь фокусы и смещения электронной и ионной колонн (align shifts, но может случиться, что это сервисный интерфейс). Фиксируешь ток РЭМ, переходишь в область интереса и осью М приводишь образец в фокус. Можно резать. Точность, конечно, не такая как с маркерами, но приличная.

Ни пуха! Very Happy

:
Так, я то и хочу, чтобы кто-то продемонстрировал мне такую технику

Какую? Лопату для борща?
Неудобно это. Но думаю это проблема не лопаты Very Happy
Попробуй все же ложкой.....



Разные токи_001.jpg
 :
  :  48.44 KB
 :  738 ()

Разные токи_001.jpg



Разные токи_003.jpg
 :
  :  34.1 KB
 :  707 ()

Разные токи_003.jpg



_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 15 2010 06:37     :

Возможно на Helios это легко но у меня на CrossBeam не очень, возможно из-за ионных пушек разных поколений.
Опять же
1.
:

При смене тока корректируешь взаимное смещение по этим меткам

противоречит
:

Область, где режешь маленьким током, вообще ни разу не изображается ионами

Как я могу увидеть маркеры в режиме ионного пучка и при этом не облучать точку в центре?
2.
:

настраиваешь "слева" eucentric height

Это перпендикулярно или параллельно оси наклона? У меня результат зависит от того куда смещаемся...
На глаз фокус не изменяется при смещении (хотя должен) и откорректировать по М - люфты километровые...
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 15 2010 15:13     :

Дело не в пушках, а в софте. Я с XBeam не работал, но на NVision такую структурку наверное сделал бы, во всяком случае принципиальных проблем не вижу. А софт должен быть одинаковым.
Попробуй уйти на самый маленький ток и посмотреть какого диаметра дырку можно сделать твоей пушкой, если все настроить.
Да, там еще такой глюк есть (на всех системах) - офсеты между разными скоростями развертки. Так что настраиваться и резать надо при одинаковом dwell time.

1. Не вижу противоречия - Цайсовский софт делает коррекцию по кросскореляции метки (креста) при сканировании маленькой области вокруг предполагаемого местонахождения креста (где-то в софте это задается), так что вся область не облучается. ФЕИвский софт делает выравнивание по линейным сканам поперек крестов, что хуже, но тоже работает.

2. Лучше вдоль оси, но в принципе все равно, можно и на другом образце, главное Z не трогать. Если образец ровный и ровно закреплен - фокус и не должен меняться.
М, насколько помню, очень медленная и аккуратная ось вдоль оси, а сдвиги по Х-У - не страшно, они компенсируются.

Если все совсем плохо - сделай маску из какой-нибудь твердой тонкой пленки (я использую 500нм алмазную), повесь ее манипулятором над интересныи местом и режь через маску.
Метод не запатентован, получится - с тебя бутылка Mr. Green

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 17 2010 01:48     :

Про маску, смешо Very Happy , но мы делали маски по 200-300 микрон, только наоборот отверстия в фольге, для напыления маленького участка и его съемки в SQUID, чтобы магнитного материала больше на образце не было.

:

500нм алмазную

А, где такие водятся? А есть с отверстиями? Типа мелкодырчатых для ПЭМ?

:

настраиваться и резать надо при одинаковом dwell time

Это в стандартном софте не возможно настроить, при травлении можно задать время и глубину, но не время в точке. (не, вспомнил, - есть - как минимум пересчитывает выбранное время-глубину во время в точке)

:

главное Z

Это где такие образцы (столики, держатели) чтобы все было ровно? В обычном режиме скана смотришь кремниевую пластину, фокус немного уходит в зависимости от места, т.к. столики, держатели не идеальны

:

коррекцию по кросскореляции метки


при травлении сложных объектов такой фичи нет, если только самому не писать скрипт - травим-корректируем -травим и т.д., но я так и не смог добиться как писать скрипты. Поэтому планируем прикупить SDK (API) и сделать самим - т.к. нужна векторная графика, а не растровая...

Другое дело есть у них железо и софт "nanopaterning engine" за энную сумму, как дополнительный скангенератор и софт с управляющим компом.

И вопрос не в тему - есть ли микроманипуляторы с возможностью вращения иголки вокруг оси? Ссылку если можно...
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 17 2010 10:16     :

:
И вопрос не в тему - есть ли микроманипуляторы с возможностью вращения иголки вокруг оси? Ссылку если можно...


Есть насадки на стандартный Кляйндик, посмотри у них на сайте. Там даже микропипетки есть.

Маску можно самому вырезать тем же ФИБом. В продаже не встречал, но не удивлюсь, если есть.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
:   
     
2 3 .  1, 2, 3  .


|| || || ||
|| || ||

©2002 - Microscopist.ru -
: : : :faq : Rambler's Top100 @Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | : GMT + 3