Ионное травление + РЕМ

[Tolik]

А есть ли какие-нибудь способы наблюдать процесс ионного травления в СЭМ?

[Sergey]

Есть приборы с двумя пучками электронным и ионным.
А что Вы хотите увидеть при травлении?

[injener]

А можно еще несколько образцов потравить в разных режимах и разное время и потом посмотреть их последовательно. И увидите изменения, которые и дадут Вам некую картину процесса в динамике... Это проще...

[Tolik]

В данных приборах (FIB) процесс просмотра идет методом: отключили ионный источник, включили СЭМ.
Смотреть в динамике - идея хорошая, но это очень медленно.
У меня есть задача - найти контроль за процессом травления. Есть проблема - когда я включаю ионный источник то BSE и SE детектора в системе не работают - засвечиваются. Так может как-то можно эти детектора модернезировать, чтоб можно было их включать при работающей ионной пушке (только не советуйте из системы сделать СИМС )

[injener]

[Sergey]

[Dusha]

[Tolik]

Моя задача - найти контроль над скоростью травления (но в принципе это уже совсем другая история). То, что данный вопрос обширно описан в литературе, мне не помогло, так как каждая система индивидуальна, как и задачи поставленные перед ней.

Я не знаком с цайзовским FIB-ом (работал только на балтековской установке), но знаю точно, что есть системы ионного травления (может это и есть FIB, упомянутый уважаемым Dusha), в которых процесс травления и наблюдения идут одновременно. Вот и стало мне интересно - а как они, то есть производители, этого добились. Может это все же не такое простое решение, как сказал injener?

[Tolik]

[Dusha]

Я не большой спец по видео. Моя система почему-то пакует в mpeg4 только как quicktime movie, виндовский проигрыватель его понимать не хочет. Так что если у кого проблемы - я не виноват.
При другом кодеке размер получается безразмерный, или качество безобразное

FIBonline.mov

Воспроизведение ускоренное, реальное время бежит в правом нижнем углу. Крест вокруг частицы нарисован для выравнивания, я потом из этого видео восстанавливаю внутренний объем.

Вот, кстати, родилась идея насчет как Вам по простому избежать засветки: организуйте стробоскоп, хоть и механический пропеллер, на ионный пучок и синхронизируйте его с кадровой разверткой СЭМ. Из заморочек с электроникой - только ввести небольшую задержку на обратный кадровый ход луча, во время которого будет происходить травление.

[Sergey]

[Dusha]

Мне писал, что mpeg4....
Можно попробовать какам-нибудь DVD плеером, там такой должен быть.
ЗЫ У меня кажет, и на работе (очевидно) и дома.

Попробуйте просто загрузить файл, а потом разными прогрывателями его подергать.

[Sergey]

Дааа. Красиво смотрится. Нам бы такой прибор.
Есть идеи, но нет таких возможностей.

[Dusha]

[Tolik]

Не удается дома открыть видео....

[Tolik]

Вопрос сразу у меня возник к Dusha.

Я так понял, что Вы обладаете опытом по подготовке образцов на ПЭМ из дефектных областей вайферов (методом ионного травления)? Если да, то Вы бы могли меня направить или просветить по данному вопросе о том, именно: как вообще классифицируются эти дефекты, что они из себя представляют, как мы их можем увидеть в СЭМ или на high resolution СЭМ?

[Sergey]

[Dusha]

[Sergey]

[Dusha]