Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Фотогалерея arrow Где фотографии в фотогалерее?

Где фотографии в фотогалерее?
На страницу Пред.  1, 2
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1961
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 10:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Если "посмотреть на свет", то ничего видно

Если эксимерным лазером просветить, то может и можно - слышал о таких работах.
Цитата:
все-таки проверить

Думаю - только резать.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
katya
Новенький

Сообщения: 8
Зарегистрирован: 24.11.2007
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 10:20    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А этот РСМА не поможет?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1961
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 10:28    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
А этот РСМА не поможет?

Вряд ли.
Может поможет вольтовый контраст. Для этого готовую микросхему (естественно без корпуса) смотрят в этом контрасте в РЭМе с подачей питания и сигналов. Где-то в рекламе какой-то фирмы были картинки, показывающие разрыв проводников или закорачивание областей на микросхеме.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1961
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 13:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вам похоже надо что-то подобное этому
http://www2.eng.cam.ac.uk/~bcb/voltage.htm (там ссылка на кино)
https://www.reliabilityanalysislab.com/VoltageContrast0102.asp

http://www.freepatentsonline.com/5970167.html
и т.д.
Можете поискать в инете "voltage contrast" & "failure analysis"

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
greeg
Гуру

Сообщения: 446
Зарегистрирован: 04.05.2006
Откуда: Ukraine
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 15:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Как сквозь транзистор (или еще что-нибудь) увидеть нижележащие слои? Хочется обойти стороной привычные методы травления или разрезания устройства. Есть ли методы, позволяющие просматривать устройства БЕЗ нанесения им механических повреждений?

для этого есть метод наведенного тока. Занимаются этим в Черноголовке, проконсультировать возможно могут в МГУ - Рау Эдуард Иванович
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Dusha
Дед

Сообщения: 2200
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 19:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Есть ли методы, позволяющие просматривать устройства БЕЗ нанесения им механических повреждений?

Да, рентген. Микрорентгеновская томография, например.
Цитата:

Смотреть нужно все: размеры и качество p- и n- областей легирования, металлизации, толщину слоя диэлектрика между слоями ИС, и т.п и т.д.

Но всего рентгрен не даст, только распределение плотности. И насчет разрешения не уверен, там порядка 10мкм.
Все производители микросхем их режут для контроля. Либо действительно вольтовый контраст, но это только верхний слой.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1961
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2007 21:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
метод наведенного тока

Может и поможет, если утечки небольшие, нет замыканий и разрывов проводников - то есть вместе с вольтконтрастом.
Цитата:
это только верхний слой.

Не уверен. Если сверху диэлектрик, то он заряжается от нижних слоев и тоже дает картину (хотя искаженную)

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Pearl
Новенький

Сообщения: 4
Зарегистрирован: 12.12.2007
Откуда: Москва
СообщениеДобавлено: Чт 13 Декабрь 2007 00:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Здравствуйте коллеги. Здравствуйте katya.
С некоторым опозданием, но вмешаюсь в ваш разговор…

Мы занимаемся такими вопросами и можно сказать достаточно успешно. На прошедшей конференции в ЧГ мы представляли работу по анализу отказов СБИС.
Обычно при отработке технологии изготовления многоуровневых ИС контроль качества проводников, диэлектриков и прочих пассивных элементов нижних уровней проводят на этапе их изготовления, а после формирования последующих 5-10 слоев к анализу их размерных характеристик не возвращаются. Хотя у Э.И. Рау есть интересная методика микротомографии внутренней структуры многослойных ИС в отраженных электронах, которая позволяет визуализировать элементы внутренних уровней ИС.
Если ИС все-таки изготовили, но есть подозрения на присутствие какого–либо дефекта, то сначала проводят процедуру анализа схемы на отказ (failure analysis – FA), а потом уже находят причину отказа, не зависимо от того в каком слое она пряталась. Надо сказать, что сама процедура FA и электронно-зондовые методы для ее реализации подбираются индивидуально для каждой ИС. Очень популярный метод для проведения анализа отказов многослойных ИС с высокой степенью интеграции (как у Вас) является метод – CIVA (Charge-Induced Voltage Alteration). Он достаточно прост в реализации и самое главное позволяет идентифицировать отказ, не вдаваясь в функциональные и топологические тонкости самой ИС. Эта методика позволяет оценить как надежность p-n –переходов , так и многие топологические ошибки. Кроме того, не стоит забывать о методе SCEBIC – наведенном с одним контактом. Ну а контроль целостности элементов разводки уже традиционно проводится методами резистивного и потенциального контраста.
А вообще к каждой мелкосхеме независимо, какая она простая или сложная нужен свой индивидуальный подход и свой набор аналитических методик…

Эта область в России слабо освоена, вероятно, потому, что интегральная электроника не на лучшем этапе своего развития. В любом случае обращайтесь – поможем (или хотя бы подскажем).
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 2 из 2 На страницу Пред.  1, 2


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3